太阳成tyc122cc科技高性能射频电源采用高性能功放电路、高精度VI检测、全数字化高速功率控制，可实时显示输出、反射功率及负载阻抗，控制电路对功率进行快速动态调节可在负载变化时仍保持输出平稳，支持连续、脉冲输出及相位同步功能，且具有快速电弧检测及抑制能力，能有效的保护负载及电源本身。可广泛应用于半导体、光伏、显示面板、等离子科研等领域。
射频电源水冷系列(3kW-20kW)
产品概述
关键特性
采用先进高效率、高稳定性射频功放技术
采用高速全数字化处理，响应速度快，输出功率平稳
输出功率余量大，能够长期稳定运行
能精确测量输出功率、反射功率和负载阻抗
支持自动增益控制(AGC)，实现输出功率的精准控制
支持本地控制、I0控制以及通过RS485和EtherCat远程控制
采用先进的功率放大器技术，支持从最小到最大功率的连续调节
具有电弧抑制功能，能够快速检测电弧并进行智能灭弧处理
具有动态频率调谐（DFT）功能
支持过载、过流和过热保护
技术指标
| 技术项目 | 技术指标 | |||
DX-RFS-13030 DX-RFS-27030 | DX-RFS-13060 DX-RFS-27060 | DX-RFS-13120 DX-RFS-27120 | DX-RFS-13200 DX-RFS-27200 | |
| 输入电压 | AC 380V±10%，50/60Hz，矩形重载连接器 | |||
| 输出频率 | 13.56/27.12MHz | 13.56MHz | ||
| 频率稳定度 | ±0.005% | |||
| 频率调谐范围 | ±5% | |||
| 额定输出功率 | 3kW | 6kW | 12kW | 20kW |
| 功率调节范围 | 50W-3kW | 50W-6kW | 50W-12kW | 50W-20kW |
| 最大反射功率 | 600W | 1.2kW | 2.4kW | 4kW |
| 射频输出接口 | L29(母头) | 7/8"法兰 | 1-5/8"法兰 | |
| IO端口 | Analog(DB25母头) | |||
| 通讯接口 | RS485(DB9母头)、EtherCat | |||
| 功率上升下降时间 | <10ms | |||
| 功率稳定度 | 1%设置功率，或者0.1%最大功率(取最优值) | |||
| 输出模式 | 连续、脉冲(选配) | |||
| 脉冲频率 | 50Hz-30kHz | |||
| 占空比 | 1-99%(打开/关闭时间最小12us) | |||
| 谐波 | <-50dBc | |||
| 杂散 | <-50dBc | |||
| 整机效率 | ≥70%(Z=500Ω，额定输出) | |||
| 显示屏 | LCD(256*160LCD图形显示器)+飞梭按键 | |||
| 相位同步功能 | 支持 | |||
| 保护功能 | 过压、过流和过热保护，反射功率超限、外部锁定和电弧检测保护 | |||
| 冷却方式 | 水冷(水流量≥4L/min) | 风冷+水冷(水流量≥6L/min) | 风冷+水冷(水流量≥12L/min) | 风冷+水冷(水流量≥24L/min) |
| 冷却水接口 | 可接入12mm水管 | 可接入24mm水管 | 1寸法兰卡箍快装 | |
| 接口 | RS485、RJ45、标准DB9母头(连接匹配器) | |||
| 环境温度 | +5°C至+40°C | |||
| 运行湿度 | 5%至70% | |||
尺寸(深*宽*高mm) | 423*483*132 | 546*483*176 | 835*483*176 | 1010*483*354 |
选型指南
| 型号 | DX-RFS-13030 | DX-RFS-13060 | DX-RFS-13120 | DX-RFS-13200 | DX-RFS-27030 | DX-RFS-27060 | DX-RFS-27120 |
| 输出频率 | 13.56MHz | 27.12MHz | |||||
| 额定输出功率 | 3kW | 6kW | 12kW | 20kW | 3kW | 6kW | 12kW |
射频电源风冷系列(600-1.5kW)
产品概述
太阳成tyc122cc科技高性能射频电源采用高性能功放电路、高精度VI检测、全数字化高速功率控制，可实时显示输出、反射功率及负载阻抗，控制电路对功率进行快速动态调节可在负载变化时仍保持输出平稳，支持连续、脉冲输出及相位同步功能， 且具有快速电弧检测及抑制能力，能有效的保护负载及电源本身。可广泛应用于半导体、光伏、显示面板、等离子科研等领域。
关键特性
采用先进高效率、高稳定性射频功放技术
采用高速全数字化处理，响应速度快，输出功率平稳
输出功率余量大，能够长期稳定运行
能精确测量输出功率、反射功率和负载阻抗
支持自动增益控制(AGC)，实现输出功率的精准控制
支持本地控制、I0控制以及通过RS485和EtherCat远程控制
采用先进的功率放大器技术，支持从最小到最大功率的连续调节
具有电弧抑制功能，能够快速检测电弧并进行智能灭弧处理
支持过载、过流和过热保护
技术指标
| 技术项目 | 技术指标 | ||
DX-RFS-13006 DX-RFS-27006 | DX-RFS-13010 DX-RFS-27010 | DX-RFS-13015 DX-RFS-27015 | |
| 输入电压 | AC 220V+10%,50/60Hz | ||
| 输出频率 | 13.56/27.12MHz | ||
| 频率稳定度 | ±0.005% | ||
| 频率调谐范围 | ±5% | ||
| 额定输出功率 | 600W | 1kW | 1.5kW |
| 功率调节范围 | 10W-600W | 15W-1kW | 50W-1.5kW |
| 最大反射功率 | 120W | 200W | 300W |
| 射频输出接口 | N型(母头)或定制 | ||
| IO端口 | Analog(DB25母头) | ||
| 通讯接口 | RS485(DB9母头)、EtherCat | ||
| 功率上升下降时间 | <5ms | ||
| 功率稳定度 | 1%设置功率，或者0.1%最大功率(取最优值) | ||
| 输出模式 | 连续、脉冲(选配) | ||
| 脉冲频率 | 50Hz-30kHz | ||
| 占空比 | 1-99%(打开/关闭时间最小12us) | ||
| 谐波 | <-50dBc | ||
| 杂散 | <-50dBc | ||
| 整机效率 | ≥70%(Z=500Ω，额定输出) | ||
| 显示屏 | LCD+飞梭按键 | ||
| 相位同步功能 | 支持 | ||
| 保护功能 | 过压、过流和过热保护，反射功率超限、外部锁定和电弧检测保护 | ||
| 冷却方式 | 风冷 | ||
| 环境温度 | +5°C至+40°C | ||
| 运行湿度 | 5%至70% | ||
尺寸(深*宽*高mm) | 450*483*88 | ||
选型指南
| 型号 | DX-RFS-13006 | DX-RFS-13010 | DX-RFS-13015 | DX-RFS-27006 | DX-RFS-27010 | DX-RFS-27015 |
| 输出频率 | 13.56MHz | 27.12MHz | ||||
| 额定输出功率 | 600W | 1kW | 1.5kW | 600W | 1kW | 1.5kW |
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